干式螺桿泵與油潤滑螺桿泵的差別
油潤滑式螺桿泵
如圖一所示,油潤滑式螺桿泵的轉(zhuǎn)子腔充滿了真空泵油,起潤滑,密封和冷卻的作用。此類型的螺桿泵的抽氣效率較高(某知名品牌的氣量能達到400 – 5004m3/hr),但極限真空相對較低僅達到0.33mbar。由于泵腔內(nèi)部有油潤滑,該類型無法提供完全潔凈的真空。所以,油潤滑式螺桿泵常被用來抽對真空環(huán)境無嚴格要求的粗真空,如電子工業(yè),木工,塑料生產(chǎn),印刷與造紙等行業(yè)。但不適于抽除含氧過高、有爆炸性、對黑色金屬有腐蝕性,對泵密封油起化學作用、及含有顆?;覊m的氣體。
(圖一 油潤滑螺桿泵原理) 干式螺桿泵 如圖二所示,EVP干式螺桿泵的轉(zhuǎn)子腔內(nèi),完全無任何液體溶劑,因此此款泵的最大特點就是能獲得無任何污染的潔凈真空。該泵可用來抽除易燃易爆性氣體,含大量水蒸氣或粉塵的氣體,應用范圍十分廣泛。此外,相比油潤滑式螺桿泵,干式螺桿泵能獲得更高真空,極限真空可達到0.02/0.01mbar. (圖二?EVP干式螺桿泵結(jié)構(gòu)圖) 其中,干式螺桿泵又分為等螺距和變螺距。變螺距是基于等螺距的一種技術(shù)更新,使螺桿泵運行時的性能達到最理想的狀態(tài).以下是EVP變距螺桿泵的優(yōu)缺點: 1) 泵體溫升低 氣體在壓縮和輸送過程中會產(chǎn)生高壓和高溫,變距螺桿泵的進氣腔比隨后的送氣腔和排氣腔空間都大(參考圖四),這種結(jié)構(gòu)降低了氣體在壓縮時產(chǎn)生的熱量,同時該結(jié)構(gòu)降低了高溫氣體反流濾,只能停留在排氣端。而排氣端接入冷卻液直接冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,所以整個泵在運行過程中都能保持較低溫度,從而保證舒適的工作環(huán)境。 2)噪音低 同上,由于變距螺桿的送氣腔和排氣腔空間小于進氣腔,到達送氣腔的氣體無法返流到進氣腔,因此轉(zhuǎn)子腔體內(nèi)不會產(chǎn)生異常噪音。 3)功耗低 由于排氣腔小于前兩級腔體,螺桿泵排出氣體所需的動能小,同比等螺距變螺距能耗降低了30%。如,在EVP LG70的氣量為70L/s,等螺距螺桿泵需要7.5Kw,而變螺距螺桿泵僅需5.5Kw。 4) 不適合抽易固化和液化的氣體 變距螺桿泵的設計由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮容易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學變化而產(chǎn)生固化或液化。 而等螺距螺桿式設計中,氣體通路最短最簡單。這樣,氣體在泵體內(nèi)停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復雜的半導體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。 除提供單臺螺桿泵外,EVP能根據(jù)用戶需求提供螺桿真空泵系統(tǒng)等。下圖是EVP近期的出貨圖片,僅供參考。如有需要,歡迎與我司聯(lián)系,我們將竭誠為您服務! 標簽:螺桿真空泵,螺桿泵系統(tǒng) 編輯人:胡羽(上??蔡卣婵湛萍加邢薰荆?/td> |
(文章來源于網(wǎng)絡,如不允許轉(zhuǎn)載,請聯(lián)系我司刪除。)