典型真空系統(tǒng)

低真空系統(tǒng)

低真空系統(tǒng)指極限壓強(qiáng)高于10-1 Pa ~ 10-5 Pa 的系統(tǒng)，如高真空系統(tǒng)的前級、白熾燈排氣裝置、熱水瓶膽排氣裝置、真空儲(chǔ)物柜等。這種系統(tǒng)一般用旋片式機(jī)械泵抽氣，真空度測量用低真空計(jì)。

高真空系統(tǒng)

高真空系統(tǒng)的極限真空度在10-3 Pa ~ 10-5 Pa之間，用高真空泵和低真空泵串聯(lián)抽氣。一般的高真空系統(tǒng)中，高真泵多采用油擴(kuò)散泵、渦輪分子泵，低真空泵采用旋片式機(jī)械泵，高真空計(jì)采用電離真空計(jì)，低真空計(jì)采用熱傳導(dǎo)真空計(jì)。

下圖所示為結(jié)構(gòu)最簡單的玻璃擴(kuò)散泵高真空系統(tǒng)，系統(tǒng)中機(jī)械泵與三通玻璃閥門之間用真空橡膠管連接，以避免機(jī)械泵工作時(shí)產(chǎn)生的機(jī)械振動(dòng)傳遞到擴(kuò)散泵及系統(tǒng)的玻璃管道上。當(dāng)抽真空時(shí)，三通玻璃閥門轉(zhuǎn)到連通擴(kuò)散泵與機(jī)械泵的位置。當(dāng)停機(jī)時(shí)，擴(kuò)散泵停止加熱后，必須等到擴(kuò)散泵基本冷卻后才能關(guān)機(jī)械泵，而且關(guān)機(jī)械泵時(shí)要把三通閥轉(zhuǎn)到機(jī)械泵與大氣連通的位置，關(guān)斷擴(kuò)散泵與機(jī)械泵的氣路連通，并對機(jī)械泵內(nèi)放大氣，防止機(jī)械泵返油到擴(kuò)散泵及高真空部件中。玻璃高真空系統(tǒng)的抽速比較小，適于科學(xué)研究、小型電真空器件的制備等場合使用。

鏈接：真空系統(tǒng)，旋片泵，擴(kuò)散泵，分子泵

編輯：秦立香 （上?？蔡卣婵湛萍加邢薰荆?/td>