擴(kuò)散泵系統(tǒng)應(yīng)用在真空鍍膜機(jī)玻璃鍍膜

擴(kuò)散泵作為鍍膜真空系統(tǒng)的主泵已經(jīng)有幾十年的歷史了。

EVP在所有鍍膜應(yīng)用整體解決方案的上處于領(lǐng)導(dǎo)地位。我們的工程師非常了解技術(shù)要求，可以大力支持您的業(yè)務(wù)。實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)組件最優(yōu)化，最緊湊的設(shè)計(jì)、最高的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。

憑借長(zhǎng)期的經(jīng)驗(yàn)我們?yōu)殄兡C(jī)設(shè)備提供最優(yōu)化的真空解決方案。EVP真空系統(tǒng)產(chǎn)品油式旋片泵，滑閥泵，羅茨泵，和擴(kuò)散泵泵都能滿足鍍膜行業(yè)的應(yīng)用。

我們可以通過機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵的配合使用達(dá)到高真空條件。但擴(kuò)散泵不能在大氣下運(yùn)行,因此在擴(kuò)散泵能夠工作之前,必須先用機(jī)械泵通過低真空閥門分別將腔體內(nèi)和擴(kuò)散泵中的大部分氣體抽到大氣中。擴(kuò)散泵需要預(yù)熱,待真空度合適后,將低真空閥放在抽擴(kuò)散泵一側(cè)， 然后慢慢打開高真空閥門。擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的組合可使腔體內(nèi)的壓強(qiáng)降到大約7X10-4Pa.

在操作系統(tǒng)之前，先打開前級(jí)泵的角閥，然后前級(jí)泵將開始抽擴(kuò)散泵。當(dāng)擴(kuò)散泵中的真空壓力達(dá)到5pa時(shí)，開始加熱。當(dāng)前級(jí)泵開始工作時(shí)，請(qǐng)打開預(yù)抽閥，啟動(dòng)機(jī)械泵。預(yù)抽系統(tǒng)達(dá)到500Pa后，啟動(dòng)羅茨泵。當(dāng)壓力達(dá)到0.5pa，擴(kuò)散泵加熱時(shí)間足夠時(shí)（KT320以下:40分鐘，KT500~KT603: 60分鐘，KT800~KT900:70分鐘，KT1000~KT1600: 90分鐘），打開前級(jí)閥門，關(guān)閉預(yù)抽泵和角閥，關(guān)閉前級(jí)泵，打開高閥，讓整個(gè)機(jī)組工作。

擴(kuò)散泵在安裝前要清洗，之后才可以裝入擴(kuò)散油，油在加熱前，必須要先對(duì)泵抽真空，停機(jī)前要先將擴(kuò)散泵油冷卻到60～70攝氏度，才可以關(guān)閉前級(jí)抽氣，最后關(guān)冷卻水。

特別說明：在關(guān)閉擴(kuò)散泵的加熱功率后，不能立即停止擴(kuò)散泵，預(yù)泵和工藝泵中的冷卻水。

編輯人員：Annie Hou; 版權(quán)所屬：上海坎特真空科技有限公司

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品：擴(kuò)散泵，擴(kuò)散泵機(jī)組?