工作原理:
CJHL系列磁控管多弧真空鍍膜機(jī)采用多弧離子鍍膜和磁控濺射鍍膜技術(shù)集成,具有平面靶或圓柱靶。它不僅具有高電離速率,離子涂布方式的沉積速率高。而且具有低溫和高穩(wěn)定性,特別適用于各種金屬膜,多層膜,合金膜等化學(xué)品,如涂層超硬耐磨膜,防腐膜和裝飾膜(金,銀色,黑色,紅色,藍(lán)色,綠色等顏色),多層膜可以
可與TiN,TiC,TiCN,TiAlN,CrN,CU,AU,金剛石膜(DLC),裝飾性材料(DLC)等組成的磁控濺射技術(shù),不銹鋼,鋁,鈦,鎢等金屬膜進(jìn)行涂層膜,金屬膜,非金屬膜及其復(fù)合層和復(fù)合膜。
應(yīng)用領(lǐng)域:
適用于手表,手機(jī)金屬外殼,衛(wèi)浴潔具,模具,電子產(chǎn)品,水晶玻璃,眼鏡,餐具,刀具等五金,玻璃工藝品,陶瓷工藝品等。您可以制作超硬耐磨膜,防腐膜,裝飾膜(金色,玫瑰金,棕色,棕色,青銅色,藍(lán)色,黑色,白色,灰色等),結(jié)合磁控濺射技術(shù)可鍍上多層復(fù)合膜,制成電鍍不銹鋼,鋁,鈦,鎢等金屬膜可制成涂層TIN,TIC,TICN,TIALN,CRN,CU,AU,金剛石膜(DLC),裝飾膜金屬,薄膜和非金屬?gòu)?fù)合涂膜及其復(fù)合膜。
主要特征:
1.設(shè)備低溫離子二次源,部分基材不加熱材料,可在室溫下直接進(jìn)行冷鍍膜,節(jié)約能源,提高生產(chǎn)效率。
2.工具涂層室最高溫度可達(dá)600度,除涂布機(jī)涂料應(yīng)用需要加熱裝置外,其他應(yīng)用不需要設(shè)備。
3.沉積速度快,涂布速度快,可廣泛用于裝飾涂料,功能涂料等各種產(chǎn)品。因此是進(jìn)行大批量生產(chǎn)的高檔和最佳涂層的理想設(shè)備。
磁控濺射原理是基于陰極輝光放電的理論,它在工件表面附近消耗陰極表面磁場(chǎng)。然后,它提高了濺射的原子電離速率。它保持了磁控濺射的均勻性,也可以提高表面發(fā)光效果。
5,電弧等離子體蒸發(fā)源可靠,可在40A電流下工作,優(yōu)化陰極和磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)。它將發(fā)生涂層和材料之間的原子擴(kuò)散。它還具有離子束輔助沉積的優(yōu)點(diǎn)。
6,真空泵系統(tǒng),電控系統(tǒng)和完整真空鍍膜系統(tǒng)可根據(jù)用戶要求定制。
型號(hào) |
CJHL-800 |
CJHL-1000 |
CJHL-1200 |
CJHL-1400 |
CJHL-1600 |
CJHL-1800 |
抽氣速度 |
至9*10-3Pa≦10分鐘 |
極限真空 |
6*10-4Pa |
壓升率 |
0.67Pa/h |
離子源 |
6—–20套 |
離子電源 |
5KW,45—-160A, 6—–20 套 |
磁控靶 |
圓柱或平面 1—-12 PCS |
磁控電源 |
10—–60KW直流或中頻 1-12套 |
偏壓電源 |
10–15KW |
20KW |
30KW |
40KW |
40–50KW |
60KW |
真空系統(tǒng) |
擴(kuò)散泵或分子泵組成的真空系統(tǒng) |
加熱系統(tǒng) |
9KW |
12KW |
15KW |
18KW |
24KW |
36KW |
工件架 |
公自轉(zhuǎn),變頻控制,無(wú)級(jí)調(diào)速,可定制 |
充氣系統(tǒng) |
1-4路氣體,控制精確 |
控制系統(tǒng) |
全自動(dòng)控制和手動(dòng)控制,中英文觸摸屏 |