EVP CXF-系列渦輪分子泵

產(chǎn)品描述: CXF-系列渦輪分子泵，響應(yīng)時(shí)間短，可以抽不含碳?xì)浠衔锏慕橘|(zhì)，維護(hù)次數(shù)少，振動(dòng)低，在有此類需求的工況中是用戶的理想選擇

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簡介：

CXF-系列渦輪分子泵，響應(yīng)時(shí)間短，可以抽不含碳?xì)浠衔锏慕橘|(zhì)，維護(hù)次數(shù)少，振動(dòng)低，在有此類需求的工況中是用戶的理想選擇。分子泵的轉(zhuǎn)子在磁力軸承的作用下被完全懸空，轉(zhuǎn)子不和泵腔內(nèi)任何部件接觸。因?yàn)楸们粌?nèi)沒有任何摩擦所以分子泵各部件使用壽命超長。同時(shí)，振動(dòng)值非常低。在設(shè)計(jì)中，CXF-系列帶有轉(zhuǎn)子懸浮狀態(tài)監(jiān)測，轉(zhuǎn)子自動(dòng)平衡，運(yùn)行排氣負(fù)載監(jiān)控，斷電自動(dòng)保護(hù)等功能。

主要優(yōu)勢:

無油，能獲得超潔凈真空；

因泵腔內(nèi)無任何摩擦，不需要維護(hù)保養(yǎng)，節(jié)約使用成本；

低振動(dòng)，低噪音，為用戶提供良好的使用環(huán)境；

轉(zhuǎn)速可調(diào)，用戶可以根據(jù)不同工況調(diào)節(jié)泵的轉(zhuǎn)速滿足不同氣量要求；

結(jié)構(gòu)緊湊節(jié)省安裝空間；

可任意角度安裝，所以安裝方便；

抗前級(jí)壓力強(qiáng)。

應(yīng)用:

半導(dǎo)體生產(chǎn)研究，玻璃鍍膜，天陽能電磁，電子顯微鏡，冶金，等離子科技，醫(yī)療設(shè)備，等。

CXF-系列磁懸浮分子泵參數(shù)表 :

型號(hào)		CXF-200/1400	CXF-250/2300		CXF-320/3000
理論抽速	L/s	1400	2300		3000
排氣法蘭		KF40	KF40		KF40
進(jìn)氣口法蘭（可選）		DN200 LF	DN250 LF		ISO-F 320 (其他法蘭可定制)
		DN200 CF	DN250 CF		DN 320 LF
極限壓強(qiáng)	Pa	≤2×10^-6	≤2×10^-7		≤5×10^-7
建議啟動(dòng)壓強(qiáng)	Pa	<5	<5		<5
額定轉(zhuǎn)速	Rpm	3000(可調(diào))	27000(可調(diào))		21000
啟動(dòng)時(shí)間	Min	11	11		12
振動(dòng)值	μm	<0.05	<0.05		<0.015
建議前級(jí)泵	L/s	15	12		15
水嘴		ID ?10 直插自密封
冷卻方式		水冷	水冷	水冷
冷卻水流量	L/min	1	1	1
冷卻水壓力	Mpa	0.15	0.15	0.15
冷卻水溫度	℃	20	20	20
環(huán)境溫度	℃	5-45	5-45	5-45
安裝位置		垂直，水平，倒立
重量	Kg	47	58	70

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