真空泵在單晶硅成產(chǎn)中的應(yīng)用

單晶硅通常指的是硅原子的一種排列形式形成的物質(zhì)。
半導(dǎo)體的導(dǎo)電能力介于導(dǎo)體和絕緣體之間，硅、鍺、砷化鎵和硫化鎘都是半導(dǎo)體材料，半導(dǎo)體材料的電阻率隨著溫度升高和輻射強(qiáng)度的增大而減小，在半導(dǎo)體中加入微量的雜質(zhì)，對其導(dǎo)電性有決定性影響，這是半導(dǎo)體材料的重要特性。硅是最常見應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料，當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時，硅原子以金剛石晶格排列成晶核，其晶核長成晶面取向相同的晶粒，形成單晶硅。

單晶硅作為一種比較活潑的非金屬元素晶體，是晶體材料的重要組成部分，處于新材料發(fā)展的前沿。單晶硅材料制造要經(jīng)過如下過程：石英砂-冶金級硅-提純和精煉-沉積多晶硅錠-單晶硅-硅片切割。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等。

單晶硅的生產(chǎn)過程中，首先需要用真空泵對單晶爐（見下圖）進(jìn)行抽真空，使單晶爐保持在一種高真空狀態(tài)下，排除多余的有害氣體，然后再充入惰性氣體作為保護(hù)氣體。之后利用單晶爐內(nèi)的石墨加熱器對放置于石英坩堝內(nèi)的塊狀多晶硅料進(jìn)行加熱融化，完成單晶硅的生產(chǎn)，在單晶硅的生產(chǎn)過程中，要持續(xù)不斷的對單晶爐抽真空，并持續(xù)的充入惰性保護(hù)氣體。

在單晶硅的生產(chǎn)中，滑閥式真空泵因其穩(wěn)定的抽速和相對較高的真空度成為該行業(yè)最常用的真空泵。上?？蔡卣婵湛萍加邢薰旧a(chǎn)的滑閥泵已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于該行業(yè)，與國內(nèi)國際單晶硅生產(chǎn)廠家展開了緊密合作，比如型號2H-150，150L/s，極限真空0.06Pa；隨著客戶對于環(huán)保以及潔凈真空的有著越來越高的要求，目前也有客戶采用干式螺桿泵來成產(chǎn)單晶硅。具體問題請聯(lián)系我司銷售部門。

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